新技術！ センサーの寿命を最大で3倍延ばす！
EtchDefender TM (エッチディフェンダー)の特長
EtchDefender TM(エッチディフェンダー) コーティング技術は、大学の研究室、ヨーロッパ大手ウェハメーカーの製造設備にて、数年間にわたり検証された結果、非常に信頼性の高い技術であることが証明されています。
- ウエハへの異物付着の低減
石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。 - 耐久性
真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。 - 失透速度のスロー化
900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。 - 浸食速度のスロー化
石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。 - ロングライフ
このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。
センサー寿命を最大3倍まで伸ばし、35-45%のコストダウンが実現する！
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、特許出願中の、石英シースの寿命を伸ばすために最適なご提案です。
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、石英管のコーティング技術であり、この技術は、石英管の寿命を最大3倍まで延ばすことで、35-45%のコストダウンを実現することができます。
CONAX社が開発したEtchDefender TMコーティング技術は、大学の研究室、大手ウエハメーカーの製造設備にて検証を繰り返して達成した信頼性ある技術です。
比較結果
EtchDefender TM (エッチディフェンダー)コーティングされた石英管は、標準品の1.5倍以上のウェハ処理に耐えられます。
このセンサーは、まだ、寿命の半ば程度の段階です。
生産性の向上とリスクの軽減
センサー交換のためのメンテナンスサイクルを減らし、より長く連続して装置を運転することで、より多くの時間を製造工程に費やすことができます。
EtchDefender TM コーティング石英シースを使うことで、メンテナンスの回数が減り、様々なリスクを軽減することができます。
メンテナンスサイクルを減らすことは、チャンバー内の汚染を減らし、洗浄のための時間やコストの削減につながります。
カスタマイズソリューション
CONAX社では、コーティング技術以外にも、お客様のニーズに合わせて最適なご提案を致します。
特長
- ASM Epsilon® 150mm, 200mm, 300mmに対応
- ANSI Special (JIS クラス1相当) Rタイプ熱電対
- 石英は半導体グレードのGE214を使用
- 短納期
- 全てのセンサーのコネクタにレーザー刻印でシリアル番号を付加
その他のオプションサービス
- 石英管の交換が可能
- 白金の引き取りシステムが可能
国内に限らず世界中で多くのお客様にご採用いただいております。
お困りのことは、ぜひご相談下さい。