Conax Semiconductor社は下記米国装置メーカーに適合する長寿命のセンサーを開発致しました。
1.ASM Epsilon® 用温度センサー
2.Moore Technologies/Applied Materials バレルリアクタ用3点式、1点式温度センサー
3.Axcelis イオン注入装置向け温度センサー
4.超高速レスポンス温度センサー
半導体装置向け温度センサー Conax社
Conax Semiconductor社は下記米国装置メーカーに適合する長寿命のセンサーを開発致しました。