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ASM Epsilon® 用温度センサー

新技術! センサーの寿命を最大で3倍延ばす!

EtchDefender TM (エッチディフェンダー)の特長

EtchDefender TM(エッチディフェンダー) コーティング技術は、大学の研究室、ヨーロッパ大手ウェハメーカーの製造設備にて、数年間にわたり検証された結果、非常に信頼性の高い技術であることが証明されています。

  • ウエハへの異物付着の低減
    石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。
  • 耐久性
    真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。
  • 失透速度のスロー化
    900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。
  • 浸食速度のスロー化
    石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。
  • ロングライフ
    このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。

センサー寿命を最大3倍まで伸ばし、35-45%のコストダウンが実現する!

EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、特許出願中の、石英シースの寿命を伸ばすために最適なご提案です。
EtchDefender TM(エッチディフェンダー)は、石英管のコーティング技術であり、この技術は、石英管の寿命を最大3倍まで延ばすことで、35-45%のコストダウンを実現することができます。
CONAX社が開発したEtchDefender TMコーティング技術は、大学の研究室、大手ウエハメーカーの製造設備にて検証を繰り返して達成した信頼性ある技術です。

比較結果

EtchDefender TM (エッチディフェンダー)コーティングされた石英管は、標準品の1.5倍以上のウェハ処理に耐えられます。
このセンサーは、まだ、寿命の半ば程度の段階です。

生産性の向上とリスクの軽減

センサー交換のためのメンテナンスサイクルを減らし、より長く連続して装置を運転することで、より多くの時間を製造工程に費やすことができます。

EtchDefender TM コーティング石英シースを使うことで、メンテナンスの回数が減り、様々なリスクを軽減することができます。

メンテナンスサイクルを減らすことは、チャンバー内の汚染を減らし、洗浄のための時間やコストの削減につながります。

カスタマイズソリューション

CONAX社では、コーティング技術以外にも、お客様のニーズに合わせて最適なご提案を致します。

特長

  • ASM Epsilon® 150mm, 200mm, 300mmに対応
  • ANSI Special (JIS クラス1相当) Rタイプ熱電対
  • 石英は半導体グレードのGE214を使用
  • 短納期
  • 全てのセンサーのコネクタにレーザー刻印でシリアル番号を付加

その他のオプションサービス

  • 石英管の交換が可能
  • 白金の引き取りシステムが可能

国内に限らず世界中で多くのお客様にご採用いただいております。
お困りのことは、ぜひご相談下さい。