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半導体装置向け温度センサー

Conax Semiconductor社は下記米国装置メーカーに適合する長寿命のセンサーを開発致しました。

1.ASM Epsilon® 用温度センサー

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2.Moore Technologies/Applied Materials バレルリアクタ用3点式、1点式温度センサー


3.Axcelis イオン注入装置向け温度センサー

4.超高速レスポンス温度センサー